EFEM，缩写自EquipmentFrontEndModule，即“设备前端模块”，业内通常指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块。EFEM从属于半导体生产设备，其内部主要由化学蒸汽过滤器、空气过滤器、离子发生器、晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆载运盒、自动化控制模块等组成，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准装置（Aligner）是最核心的三大部件。EFEM是一个设备的前端输片系统。Sorter与EFEM类似，是一台独立工作的倒片机。晶圆倒片机(WaferSORTER)是用于半导体制造行业的过程设备，通过设备内部的微环境保证倒 ......
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